MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：14
- 题名/责任者:
- 非硅MEMS技术及其应用/陈文元，张卫平，陈迪著
- 出版发行项:
- 上海:上海交通大学出版社,2015.03
- ISBN及定价:
- 978-7-313-12525-5/CNY150.00
- 载体形态项:
- ;26cm
- 个人责任者:
- 陈文元 著
- 个人责任者:
- 张卫平 著
- 个人责任者:
- 陈迪 著
- 学科主题:
- 微电子技术
- 学科主题:
- 微电子学
- 中图法分类号:
- TN4
- 提要文摘附注:
- MEMS技术是二十世纪九十年代由IC技术发展而来，二十一世纪得到迅猛发展的一项高新技术，它集微传感器、微执行器、控制电路于一体，涉及机、电、光、信息、微制造、材料等多学科交叉，可广泛应用于信息、生物、汽车、医疗、国防等领域。非硅MEMS技术是在硅MEMS技术基础上发展起来的，又与硅MEMS技术互为补充。作者及其团队长期从事非硅MEMS技术的研究。根据多年的研究，在书中作者详细地叙述了非硅MEMS技术的特点，非硅材料，三维非硅微加工新技术，新型非硅微传感器和微执行器等非硅MEMS技术及其应用。该书是作者长期从事非硅MEMS技术研究，理论结合实际，科学研究的总结。
- 使用对象附注:
- 本书可供从事MEMS技术，微加工、微传感器、微执行器研究和应用的科技人员和高等学校相关专业师生，也可作为机电一体化、精密仪器仪表、微机械等专业师生参考
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