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题名/责任者:

MEMS法珀腔光学声传感器/郑永秋, 陈佳敏, 武丽云著

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2023.11

ISBN及定价:

978-7-121-46695-3/CNY98.00

载体形态项:

211页:图;23cm

丛编项:

工业信息化技术丛书

个人责任者:

郑永秋 著

个人责任者:

陈佳敏 著

个人责任者:

武丽云 著

学科主题:

光纤传感器

中图法分类号:

TP212.4

责任者附注:

郑永秋, 博士, 中北大学副教授, 硕士生导师。山西省“三晋英才”青年优秀人才, 山西省优秀青年基金获得者, 山西省光学学会理事。陈佳敏, 博士, 中北大学讲师, 主要从事MEMS光学声传感测试技术研究, 主持山西省基础研究计划青年基金项目。武丽云, 博士, 太原工业学院讲师, 主要研究领域为光学声传感器的制备, 以及智能机器人感知系统等。

书目附注:

有书目 (第194-211页)

提要文摘附注:

本书系统地论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等, 还对MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。

使用对象附注:

本书对从事MEMS光学声传感技术研究、设计、制造和应用的科技人员有一定的参考价值, 也可作为相关专业本科生和研究生的教学参考书

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