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题名/责任者:

微系统设计导论/(德) 沃纳·卡尔·施默博格著 董瑛等译

出版发行项:

北京:清华大学出版社,2019

ISBN及定价:

978-7-302-51757-3/CNY68.50

载体形态项:

230页:图;26cm

统一题名:

Introduction to microsystem design

个人责任者:

施默博格 (Schomburg, Werner Karl) 著

个人次要责任者:

董瑛 译

学科主题:

微电子技术-设计

中图法分类号:

TN40

中图法分类号:

TN4

版本附注:

据原书第2版译出

出版发行附注:

由德国施普林格公司授权

书目附注:

有书目 (第227-230页)

提要文摘附注:

本书系统介绍组成微系统的基本微结构、功能单元和典型器件的设计，包括薄层、弹性元件（如膜片、微梁）、应变和位移的检测单元、电阻和电容的测量电路、静电驱动力、压电效应、毛细管力、微流体控制单元、微传感器、微执行器等，并附大量的设计计算练习题。

使用对象附注:

微电机系统设计以及数学模型设计相关专业教材

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