MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:15
- 题名/责任者:
- NEMS传感器的研制与应用/谭苗苗著
- 出版发行项:
- 北京:冶金工业出版社,2017.01
- ISBN及定价:
- 978-7-5024-7442-3/CNY28.00
- 载体形态项:
- 109页:图;24cm
- 个人责任者:
- 谭苗苗 著
- 学科主题:
- 机电系统-传感器-研究
- 中图法分类号:
- TM7
- 责任者附注:
- 谭苗苗, 工学博士, 北京联合大学机械工程及自动化系副主任。
- 书目附注:
- 有书目 (第103-109页)
- 提要文摘附注:
- 本书概述了NEMS传感器的结构类型、加工工艺类型和常用的测试方案, 并针对国内外NEMS传感器研究取得的研究成果和发展现状进行了总结分析 ; 针对NEMS传感器比较常见的场效应晶体管结构, 详细阐述了两种不同的一维纳米结构组装NEMS器件的工艺方法, 以及器件电路结构加工工艺等。
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 |
TM7/55 | S3155270 | - | 总馆—工业技术书库(龙湖) | 可借 |
TM7/55 | S3155271 | - | 总馆—工业技术书库(龙湖) | 可借 |
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