MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：14
- 题名/责任者:
- 微机电系统设计与制造/刘晓明，朱钟淦编著
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,2006
- ISBN及定价:
- 7-118-04121-1/CNY32.00
- 载体形态项:
- 12,371页:图;23cm
- 并列正题名:
- MEMS design and manufacture
- 个人责任者:
- 刘晓明 (电子科技) 编著
- 个人责任者:
- 朱钟淦 编著
- 学科主题:
- 微电机-研究生-教材
- 学科主题:
- 微电机
- 中图法分类号:
- TM38
- 一般附注:
- 电子科技大学研究生系列教材建设项目 研究生系列规划教材
- 相关题名附注:
- 封面英文题名：MEMS design and manufacture
- 提要文摘附注:
- 本书内容包括：MEMS的概论、MEMS的设计、集成电路(IC)基本制造技术，MEMS的制造技术、微传感器和微执行器等。_
全部MARC细节信息>>
| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 |
| TM38/6 | S569792 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TM38/6 | S569793 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TM38/6 | S569794 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 |
显示全部馆藏信息