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题名/责任者:

MEMS技术前沿与应用发展/尤政, 赵嘉昊编著

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2019.10

ISBN及定价:

978-7-118-11947-3/CNY188.00

载体形态项:

348页:图;24cm

并列正题名:

Frontier and application development of mems technology

丛编项:

微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列

个人责任者:

尤政 编著

个人责任者:

赵嘉昊 编著

学科主题:

微电机

中图法分类号:

TM38

一般附注:

“十二五”国家重点图书出版规划项目

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书首先从MEMS的概念内容、发展历史、优势特点、应用领域等方面概述了MEMS技术，然后从共性技术、典型应用等角度重点介绍了各类MEMS技术的国内外进展，国内外MEMS应用研究的实例，MEMS应用现状及发展趋势。

使用对象附注:

适合于MEMS技术、微系统技术等领域的科技开发者、科研管理者，高等院校的科研人员、高年级本科生、研究生以及相关科技人员阅读

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