MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：7
- 题名/责任者:
- 气相沉积应用技术/王福贞, 马文存编著
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2007
- ISBN及定价:
- 7-111-20065-9/CNY38.00
- 载体形态项:
- xiii, 411页:图;24cm
- 个人责任者:
- 王福贞 编著
- 个人责任者:
- 马文存 编著
- 学科主题:
- 气相沉积-基本知识
- 中图法分类号:
- TF111.34
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 全书分两篇，第一篇全面阐述了化学气相沉积、物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积的技术基础、技术原理、新的沉积技术、工艺过程、设备配套、膜层质量检测和分析；第二篇介绍了气相沉积技术在工模具硬质涂层、防护涂层、光学薄膜、建筑镀膜玻璃、太阳能利用、集成电路制造、住处存储、显示器件、饰品装饰、塑料金属化、柔性基材的卷绕薄膜产品等方面的应用。该书内容丰富新颖，力求紧密联系实际。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 |
| TF111.34/1 | S630007 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TF111.34/1 | S630008 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TF111.34/1 | S630009 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TF111.34/1 | S630010 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 |
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