MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：9
- 题名/责任者:
- 真空镀膜技术与设备/张以忱主编
- 版本说明:
- 2版
- 出版发行项:
- 北京:冶金工业出版社,2021
- ISBN及定价:
- 978-7-5024-8880-2/CNY49.00
- 载体形态项:
- 299页:图;26cm
- 个人责任者:
- 张以忱 (1954.7-) 主编
- 学科主题:
- 真空技术-镀膜-高等教育-教材
- 中图法分类号:
- TN305.8
- 一般附注:
- 普通高等教育“十二五”规划教材
- 提要文摘附注:
- 本书阐述了各种真空镀膜技术的基本概念、工作原理和应用，真空镀膜结构及蒸发源，磁控靶的设计计算，薄膜厚度的测量技术，薄膜与表面分析和检测技术；重点介绍了近年来出现的一些镀膜新方法与技术，以及真空镀膜机设计计算等方面的内容。
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