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MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：8

题名/责任者:
硅集成电路工艺基础/关旭东编著
出版发行项:
北京:北京大学出版社,2003
ISBN及定价:
7-301-06507-8/RMB28.00
载体形态项:
305页:图;27cm
个人责任者:
编著 关旭东
学科主题:
硅-集成电路-生产工艺
中图法分类号:
TN432
书目附注:
有书目。
提要文摘附注:
本书系统地讲述了硅集成电路制造的基础工艺。全书共十章，分别讲述了硅的晶体结构、硅集成电路制造中的单项工艺等内容。
使用对象附注:
普通高等教育"十五"国家级规划教材
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 校区—馆藏地 书刊状态
TN432/6 S296875   总馆—自然书库（凤阳）     可借
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