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题名/责任者:

微机电技术/田文超, 娄利飞编著

出版发行项:

西安:西安电子科技大学出版社,2014.8

ISBN及定价:

978-7-5606-3335-0/CNY50.00

载体形态项:

412页:图;23cm

丛编项:

新兴微纳电子技术丛书

个人责任者:

娄利飞 编著

个人责任者:

田文超 编著

学科主题:

微电机

中图法分类号:

TM38

一般附注:

“十二五”国家重点图书出版规划项目 陕西出版资金资助项目

责任者附注:

田文超, 西安电子科技大学教授、博士生导师, 电子封装技术国家级特色专业负责人, 精密仪器及机械学科负责人。

书目附注:

有书目 (第410-412页)

提要文摘附注:

本书系统地介绍了微机电技术基本内容、分析方法和主要内容, 包括微机电系统概述、材料、工艺、典型器件、应用, RF MEMS及重构天线, MEME力学问题等。

使用对象附注:

可供高年级本科生和研究生使用, 也可作为相关工程技术人员及科技人员的参考书

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