MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：25
- 题名/责任者:
- 基于MEMS技术的热梯度器件研究/聂金泉著
- 出版发行项:
- 北京:中国水利水电出版社,2019
- ISBN及定价:
- 978-7-5170-7299-7/CNY59.00
- 载体形态项:
- 192页:图;24cm
- 个人责任者:
- 聂金泉 著
- 学科主题:
- 微型组件-机电系统-研究
- 非控制主题词:
- 微机电系统
- 中图法分类号:
- TH-39
- 相关题名附注:
- 封面英文题名：Research on thermal gradient devices based on MEMS technology
- 提要文摘附注:
- 本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统，设计了一种新型的梯度加热器，由六个微加热芯片组成，每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元, 采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸(宽度和厚度)对温度梯度和功耗的影响，为微通道芯片的温度梯度的优化设计提供了参考。采用MEMS微加工技术加工和制作微流控系统的微加热芯片和玻璃-PDMS微通道芯片，开发了工艺流程，分析了关键工艺步骤，通过微加热芯片的引线键合，完成了微流控系统的构建。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 |
| TH-39/133 | S3259208 | - | 总馆—工业技术书库（龙湖） | 可借 |
| TH-39/133 | S3259209 | - | 总馆—工业技术书库（龙湖） | 可借 |
| TH-39/133 | S3267066 | - | 总馆—工业技术书库（龙湖） | 可借 |
| TH-39/133 | S3267067 | - | 总馆—工业技术书库（龙湖） | 可借 |
| TH-39/133 | S3267068 | - | 总馆—工业技术书库（龙湖） | 可借 |
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