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题名/责任者:

耐高温陶瓷基无线无源传感器关键技术研究/李晨著

出版发行项:

北京:中国原子能出版社,2024.11

ISBN及定价:

978-7-5221-3727-8/CNY92.00

载体形态项:

172页:图;24cm

个人责任者:

李晨 著

学科主题:

高温陶瓷-压力传感器-温度传感器-研究

中图法分类号:

TP212

责任者附注:

李晨, 中北大学半导体与物理学院教授, 博士生导师, 动态测试技术国家重点实验室成员。

书目附注:

有书目 (第161-172页)

提要文摘附注:

本书围绕无源耐高温压敏元件的关键技术, 在无线互感耦合传输理论研究的基础上, 以Dupont951陶瓷、氧化铝陶瓷等典型耐高温材料为出发点展开了详细的研究。通过LTCC微组装工艺技术, 实现了LTCC敏感元件结构的完整性, 最终实现了可以稳定地工作于400度高温环境下的LTCC耐高温敏感元件的制造; 通过结合LTCC微组装工艺技术与厚膜集成工艺技术, 实现了氧化铝陶瓷压敏元件结构的完整性, 实现了可以稳定地工作于800度高温环境下的氧化铝陶瓷耐高温敏感元件的制造, 为超高温环境下压力、温度参数的原位测试技术发展奠定了基础。

使用对象附注:

本书适用于温度传感器研究者

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