MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：5
- 题名/责任者:
- 微纳制造/Mark J. Jackson
- 版本说明:
- 影印版
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2007
- ISBN及定价:
- 978-7-03-018243-2/CNY88.00
- 载体形态项:
- x, 699页:图;24cm
- 丛编项:
- 微纳技术著作丛书
- 个人责任者:
- 杰克逊, M. J. (Jackson, Mark J.) 编著
- 学科主题:
- 纳米材料-加工工艺-英文
- 中图法分类号:
- TB383
- 责任者附注:
- CIP数据题责任者汉译姓: 杰克逊
- 书目附注:
- 有书目和索引
- 提要文摘附注:
- 纳米技术是当前科学研究与工业开发的热门领域之一。本书全面阐述了微纳器件的设计和制造方面的知识，以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术，包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、LiGA技术、薄膜沉积技术、纳加工技术等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 |
| TB383/37 | S622195 | 总馆—工业技术书库（龙湖） | 可借 | |
| TB383/37 | S622197 | 总馆—工业技术书库（龙湖） | 可借 | |
| TB383/37 | S622194 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TB383/37 | S622196 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 |
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