MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：9
- 题名/责任者:
- 基于机械—化学方法的微纳制造技术/史立秋著
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2014.07
- ISBN及定价:
- 978-7-121-23712-6/CNY39.80
- 载体形态项:
- 93页:图;24cm
- 个人责任者:
- 史立秋 著
- 学科主题:
- 半导体材料-纳米材料-硅-生产工艺
- 学科主题:
- 半导体材料
- 学科主题:
- 纳米材料
- 学科主题:
- 硅
- 中图法分类号:
- TN304.1
- 一般附注:
- 国家自然科学基金资助出版 2014年度黑龙江省高校新世纪优秀人才支持计划
- 提要文摘附注:
- 本书共6章，叙述了应用机械-化学方法在硅表面制造功能性微纳结构的全过程及其表征与分析，并对后期的应用进行系统的研究。
- 使用对象附注:
- 从事或有兴趣于纳米科技研究的读者
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 |
| TN304.1/2 | S2414486 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TN304.1/2 | S2414487 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TN304.1/2 | S2414488 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 |
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