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题名/责任者:

MEMS材料与工艺手册/(美)利萨·格迪斯(Reza Ghodssi)，(美)林斌彦(Pinyen Lin)著 黄庆安译

出版发行项:

南京:东南大学出版社,2014.03

ISBN及定价:

978-7-5641-4053-3/CNY198.00

载体形态项:

11,14,966页:图;24cm

并列正题名:

MEMS materials and processes handbook

丛编项:

微纳系统系列译丛

个人责任者:

(美) 利萨·格迪斯 (Ghodssi, Reza) 著

个人责任者:

(美) 林斌彦 (Lin, Pinyen) 著

个人次要责任者:

黄庆安 译

学科主题:

微电子技术-电子材料-手册

学科主题:

微电子技术-生产工艺-手册

学科主题:

微电子技术

学科主题:

电子材料

学科主题:

生产工艺

中图法分类号:

TN4-62

提要文摘附注:

本书主要内容包括：MEMS中半导体材料、介质材料、金属材料、聚合物材料、压电材料、形状记忆合金材料以及封装材料等制备方法及其特性等。

使用对象附注:

本书适合相关专业高年级本科生、研究生及工程科研技术人员阅读和参考

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