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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:8

题名/责任者:
微机电系统机械学/张向军编著
出版发行项:
北京:清华大学出版社,2012.9
ISBN及定价:
978-7-302-30017-5/CNY25.00
载体形态项:
157页:图;23cm
并列正题名:
= Mechanics fundamentals of MEMS
丛编项:
清华大学微机电系统工程系列教材
个人责任者:
张向军 编著
学科主题:
微电机-高等学校-教材
中图法分类号:
TM38
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
全书共6章, 重点揭示了微机电系统的表界面效应、微尺度表面力的来源与作用规律、微构件在各种微尺度表面力作用下的变形、接触与运动规律, 以及微纳米间隙和管道中的流体特性、驱动原理和流动规律, 并结合典型的微机电系统阐述了应用实例。
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索书号 条码号 年卷期 校区—馆藏地 书刊状态
TM38/13 S2337266   总馆—自然书库(凤阳)     可借
TM38/13 S2337267   总馆—自然书库(凤阳)     可借
TM38/13 S2337268   总馆—自然书库(凤阳)     可借
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