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题名/责任者:

半导体制造技术/(美)Michael Quirk，(美)Julian Serda著 韩郑生等译

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2004

ISBN及定价:

7-5053-9493-2/CNY55.00

载体形态项:

12,600页;26cm

并列正题名:

Semiconductor Manufacturing Technology

个人责任者:

(美) 奎克 (Quirk, Michael) 著

个人责任者:

(美) 塞尔达 (Serda, Julian) 著

个人次要责任者:

韩郑生 译

学科主题:

半导体工艺-教材

学科主题:

半导体工艺

中图法分类号:

TN305

一般附注:

国外电子与通信教材系列

出版发行附注:

电子工业出版社和Pearson Education培生教育出版亚洲有限公司合作出版

提要文摘附注:

全书共分二十章，内容包括半导体材料特性、器件技术、硅和硅片制备、半导体制造中的化学品、集成电路制造工艺概况等。

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