MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:4
- 题名/责任者:
- 微电子制造科学原理与工程技术=The Science Engineering of microelectronic Fabrication/[美]Stephen A.Campdell著
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2003
- ISBN及定价:
- 7-5053-8313-2/CNY59.00
- 载体形态项:
- 613页;26CM
- 个人责任者:
- 著 Stephen A.Campdell
- 学科主题:
- 微电子技术-教材
- 中图法分类号:
- TM405
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