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MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：6

题名/责任者:
微机电系统设计与制造/莫锦秋等编著
出版发行项:
北京:化学工业出版社,2004
ISBN及定价:
7-5025-5237-5/CNY30.00
载体形态项:
177页;26cm
丛编项:
光机电一体化丛书
个人责任者:
莫锦秋 编著
学科主题:
微电子技术-普及读物
学科主题:
微电子技术
中图法分类号:
TN4-49
提要文摘附注:
本书主要从普及的角度介绍微机电系统及其相关技术，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行介绍。
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索书号 条码号 年卷期 校区—馆藏地 书刊状态 还书位置
TN4-49/2 S3672213   总馆—综合书库B（凤阳校区）     可借 综合书库B（凤阳校区）
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