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题名/责任者:

脉冲激光沉积动力学原理/张端明 ... [等] 著

出版发行项:

北京:科学出版社,2011

ISBN及定价:

978-7-03-030595-4/CNY79.00

载体形态项:

xii, 395页:图;24cm

个人责任者:

张端明 著

学科主题:

脉冲-激光沉积-动力学-研究

中图法分类号:

TN24

一般附注:

中国科学院科学出版基金资助出版

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书是一本国际上关于脉冲激光沉积动力学原理的专著，全面系统地总结了作者多年研究成果，详尽介绍了自主创新从整体上构建的包括PLD各工艺阶段的自洽动力学理论框架，并阐明各工艺阶段的物理机制。在烧蚀阶段全面考虑韧致辐射和光致电离效应，建立含蒸发、热源和动态靶材吸收率综合烧蚀模型，还全面描写从纳秒到飞秒脉冲激光的综合非傅立叶热传导新模型。

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