MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：2
- 题名/责任者:
- MEMS压力传感器理论与技术/蒋庄德等著
- 出版发行项:
- 北京:高等教育出版社,2023
- ISBN及定价:
- 978-7-04-060468-9 精装/CNY99.00
- 载体形态项:
- 358页:图;26cm
- 丛编项:
- 先进制造与智能制造前沿技术丛书
- 个人责任者:
- 蒋庄德 (1955-) 著
- 学科主题:
- 压力传感器
- 中图法分类号:
- TP212
- 一般附注:
- 机械工程前沿著作系列
- 一般附注:
- 国家科学技术著作出版基金资助出版 “十四五”国家重点出版物出版规划项目
- 提要文摘附注:
- 本书共13章，主要内容包括：绪论、MEMS压力传感器基础理论、MEMS压力传感器硅微工艺、SOI耐高温阻式压力传感器、微型压力传感器、高频压力传感器、谐振式压力传感器等。
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