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题名/责任者:

等离子体放电与材料工艺原理/(美)Michael A. Lieberman，(美)Allan J. Lichtenberg著 蒲以康等译

版本说明:

第2版

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2018

ISBN及定价:

978-7-121-28022-1/CNY128.00

载体形态项:

28,536页:图;26cm

并列正题名:

Principles of plasma discharges and materials processing

丛编项:

经典译丛.微电子学

个人责任者:

(美) 力伯曼 (Lieberman, Michael A.) 著

个人责任者:

(美) 里登伯格 (Lichtenberg, Allan J.) 著

个人次要责任者:

蒲以康 译

学科主题:

等离子体-放电

中图法分类号:

O53

提要文摘附注:

本书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。

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