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题名/责任者:

芯片制造技术与应用/姚玉, 符显珠主编

出版发行项:

广州:暨南大学出版社,2024.8

ISBN及定价:

978-7-5668-3967-1/CNY98.00

载体形态项:

363页:图 (部分彩图);26cm

并列正题名:

Chip manufacturing technology and applications

丛编项:

中国芯片制造系列

个人责任者:

姚玉 主编

个人责任者:

符显珠 主编

学科主题:

芯片-生产工艺

中图法分类号:

TN430.5

责任者附注:

姚玉, 博士毕业于英属哥伦比亚大学, 多年来专注于半导体先进封装制程材料和第三代半导体材料工艺及理论的研究, 对于半导体先进封装中运用的多种关键镀层材料的制程工艺整合及芯片制造、管理有着丰富的经验。符显珠, 深圳大学材料学院教授、博士生导师, 中国电子学会电子制造与封装技术分会高级会员, 深圳市高层次人才, 厦门大学博士, 阿尔伯塔大学博士后, 美国伯克利国家实验室访问学者。

书目附注:

有书目 (第347-356页)

提要文摘附注:

本书共十章, 系统地介绍了芯片制造的核心过程和技术, 从集成电路概述到先进封装技术, 涵盖半导体器件、硅材料制备、电介质薄膜沉积、光刻、刻蚀、掺杂、金属化、以及化学机械研磨等关键技术环节。

使用对象附注:

本书适用于芯片生产工艺学习者

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