MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：8
- 题名/责任者:
- 硅微机械传感器/郑志霞著
- 出版发行项:
- 杭州:浙江大学出版社,2012.12
- ISBN及定价:
- 978-7-308-10879-9/CNY35.00
- 载体形态项:
- 199页:图;26cm
- 并列正题名:
- Mechanical microsensors
- 个人责任者:
- 郑志霞 著
- 学科主题:
- 传感器
- 中图法分类号:
- TP212.12
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书分为两部分: 第一部分根据微机械加工的工艺流程, 逐步展开介绍微机械传感器的工艺技术和一些特殊工艺。第二部分介绍硅微机械传感器的最新研究成果, 主要包括微压力传感器、微加速度传感器、微机械陀螺、微热流量传感器等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 |
| TP212.12/1 | S2334943 | 总馆—工业技术书库（龙湖） | 可借 | |
| TP212.12/1 | S2334942 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TP212.12/1 | S2334944 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 |
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