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题名/责任者:

SOI——纳米技术时代的高端硅基材料/林成鲁编著

出版发行项:

合肥:中国科学技术大学出版社,2009

ISBN及定价:

978-7-312-02233-3/CNY88.00

载体形态项:

468页:图;24cm

并列正题名:

SOI: advanced silicon-based materials for the nanotechnology era

丛编项:

当代科学技术基础理论与前沿问题研究丛书.中国科学技术大学校友文库

个人责任者:

林成鲁 编著

学科主题:

硅-纳米材料-文集

中图法分类号:

TB383-53

一般附注:

“十一五”国家重点图书

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书收集的纳米技术时代的高端硅基SOI材料方面的研究论文40篇，主要内容包括：SOI——纳米技术时代的高端硅基材料进展，SOI新材料的制备科学，SOI材料与器件特有的物理效应，绝缘体上锗硅（silicon germanium on insulator，SGOI）新结构和应变硅的制备科学，SOI技术的若干应用研究等。书中包含了高端硅基材料前沿领域的多方面创新研究成果。

使用对象附注:

微电子、光电子、微机械、半导体材料、纳米材料等专业的大专院校师生和专业技术人员重要的参考书，信息领域其他专业的师生、科研人员和工程技术人员参考资料。

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