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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:6

题名/责任者:
聚焦离子束微纳加工技术/顾文琪, 马向国, 李文萍著
出版发行项:
北京:北京工业大学出版社,2006
ISBN及定价:
7-5639-1690-3/CNY55.00
载体形态项:
[10], 344页:图, 肖像;26cm
丛编项:
电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著
个人责任者:
顾文琪
个人责任者:
马向国
个人责任者:
李文萍
学科主题:
离子束聚变装置-离子束加工
中图法分类号:
TL632
中图法分类号:
TN405.98
一般附注:
国家科学技术学术著作出版基金资助
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中重点讲述聚焦离子束的系统结构,包括离子源、离子光柱体和控制系统;工作原理;关键技术;装置发展状况和应用实例,内容极具科技前沿性及前瞻性。
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索书号 条码号 年卷期 校区—馆藏地 书刊状态
TL632/1 S621154   总馆—自然书库(凤阳)     可借
TL632/1 S621155   总馆—自然书库(凤阳)     可借
TL632/1 S621156   总馆—自然书库(凤阳)     可借
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