MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:6
- 题名/责任者:
- 聚焦离子束微纳加工技术/顾文琪, 马向国, 李文萍著
- 出版发行项:
- 北京:北京工业大学出版社,2006
- ISBN及定价:
- 7-5639-1690-3/CNY55.00
- 载体形态项:
- [10], 344页:图, 肖像;26cm
- 个人责任者:
- 顾文琪 著
- 个人责任者:
- 马向国 著
- 个人责任者:
- 李文萍 著
- 学科主题:
- 离子束聚变装置-离子束加工
- 中图法分类号:
- TL632
- 中图法分类号:
- TN405.98
- 一般附注:
- 国家科学技术学术著作出版基金资助
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中重点讲述聚焦离子束的系统结构,包括离子源、离子光柱体和控制系统;工作原理;关键技术;装置发展状况和应用实例,内容极具科技前沿性及前瞻性。
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 |
TL632/1 | S621154 | 总馆—自然书库(凤阳) | 可借 | |
TL632/1 | S621155 | 总馆—自然书库(凤阳) | 可借 | |
TL632/1 | S621156 | 总馆—自然书库(凤阳) | 可借 | |
TL632/1 | S621157 | 总馆—自然书库(凤阳) | 可借 |
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