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题名/责任者:

微制造与纳米技术/(印) N. P.马哈里克等著 蔡艳 ... [等] 译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2015.08

ISBN及定价:

978-7-111-50357-6/CNY129.00

载体形态项:

XIX, 390页:图;24cm

并列正题名:

Micromanufacturing and nanotechnology

丛编项:

国际制造业先进技术译丛

个人责任者:

马哈里克 (Mahalik, N. P.) 著

个人次要责任者:

蔡艳 译

学科主题:

纳米技术-研究

中图法分类号:

TB383

出版发行附注:

由Springer授权出版

相关题名附注:

英文题名取自封面

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书主要介绍了微机电系统 (MEMS) 、微光机电系统 (MOEMS) 、激光技术在微制造中的应用、平面印刷术、体和表面微加工、纳米修整、误差补偿、碳纳米管等内容。

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