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- 题名/责任者:
- 太赫兹行波管高频电路及其微制造技术/马天军编著
- 出版发行项:
- 北京:北京航空航天大学出版社,2024
- ISBN及定价:
- 978-7-5124-4359-4/CNY39.00
- 载体形态项:
- 122页:图;24cm
- 个人责任者:
- 马天军 编著
- 学科主题:
- 高频-电子电路
- 中图法分类号:
- TN710.6
- 提要文摘附注:
- 本书着重对0.1THz、0.22THz、0.3THz和1.03THz折叠波导高频结构及其微细制造方法进行了阐述。对0.1THz折叠波导采用超精密电火花线切割技术和LIGA技术来进行制造；对于0.22THz折叠波导及其集成级联结构采用UV-LIGA技术来制造；对于0.3THz折叠波导则采用LIGA工艺来制造；对于1.03THz折叠波导高频结构采用DRIE技术来制造。针对不同的制造方法，分别设计了具体的实施方案。本书对微细制造工艺过程中的关键工艺技术进行了描述。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN710.6/14 | S4019922 | 总馆—滁州校区自然书库 | 新书：正在上架 | 滁州校区自然书库 | |
| TN710.6/14 | S4019923 | 总馆—滁州校区自然书库 | 新书：正在上架 | 滁州校区自然书库 | |
| TN710.6/14 | S4019924 | 总馆—滁州校区自然书库 | 新书：正在上架 | 滁州校区自然书库 |
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