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题名/责任者:

微机电系统工程基础/王琪民, 刘明侯, 秦丰华编著

出版发行项:

合肥:中国科学技术大学出版社,2010

ISBN及定价:

978-7-312-02468-9/CNY38.00

载体形态项:

370页, [2] 页图版:图 (部分彩图);23cm

个人责任者:

王琪民 编著

个人责任者:

刘明侯 编著

个人责任者:

秦丰华 编著

学科主题:

微电机-系统工程-高等学校-教材

中图法分类号:

TM38

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书主要介绍相关的工程基础知识。本书共11章，较为详细介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作原理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计等，还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基本知识，分析了微系统中的工程特点等。

使用对象附注:

普通高等教育“十一五”国家级规划教材

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