MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：16
- 题名/责任者:
- 硅单晶抛光片的加工技术/张厥宗编著
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2005
- ISBN及定价:
- 7-5025-7224-4 精装/CNY35.00
- 载体形态项:
- 304页:图;21cm
- 个人责任者:
- 编著 张厥宗
- 学科主题:
- 半导体材料-硅-抛光-加工工艺
- 中图法分类号:
- TN304.1+2
- 一般附注:
- 信息功能材料类图书
- 书目附注:
- 有书目 (第299-304页)
- 提要文摘附注:
- 本书重点阐述了硅单晶抛光片的加工制备技术，大直径硅片的运、载，硅单晶、抛光片的测试，洁净室技术及三废处理等内容。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 |
| TN304.1+2/1 | S431905 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TN304.1+2/1 | S431906 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TN304.1+2/1 | S431907 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TN304.1+2/1 | S431908 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TN304.1+2/1 | S431909 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 |
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