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- 题名/责任者:
- 半导体制造技术/(美)Michael Quirk，(美)Julian Serda著 韩郑生等译
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2004
- ISBN及定价:
- 7-5053-9493-2/CNY55.00
- 载体形态项:
- 12,600页;26cm
- 个人责任者:
- (美) 奎克 (Quirk, Michael) 著
- 个人责任者:
- (美) 塞尔达 (Serda, Julian) 著
- 个人次要责任者:
- 韩郑生 译
- 学科主题:
- 半导体工艺-教材
- 学科主题:
- 半导体工艺
- 中图法分类号:
- TN305
- 一般附注:
- 国外电子与通信教材系列
- 出版发行附注:
- 电子工业出版社和Pearson Education培生教育出版亚洲有限公司合作出版
- 提要文摘附注:
- 全书共分二十章，内容包括半导体材料特性、器件技术、硅和硅片制备、半导体制造中的化学品、集成电路制造工艺概况等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 |
| TN305/3 | S557494 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TN305/3 | S557495 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TN305/3 | S557496 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TN305/3 | S557497 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TN305/3 | S557498 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 |
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