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文献类型：中文图书 浏览次数：14
- 题名/责任者:
- 微电子工艺基础/李薇薇, 王胜利, 刘玉岭编著
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2007
- ISBN及定价:
- 978-7-5025-9520-3/CNY29.80
- 载体形态项:
- 257页:图;26cm
- 个人责任者:
- 李薇薇 编著
- 个人责任者:
- 王胜利 编著
- 个人责任者:
- 刘玉岭 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-生产工艺
- 中图法分类号:
- TN405
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书前部分主要介绍了集成电路制备工艺中有关物理、化学知识, 后面介绍了工艺过程、工艺设备以及IC制备中的新技术、新方法。
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- 豆瓣简介：
-
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| 索书号 |
条码号 |
年卷期 |
校区—馆藏地 |
书刊状态 |
还书位置 |
| TN405/3 |
S627727 |
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总馆—凤阳校区密集书库（新馆）
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可借 |
凤阳校区密集书库（新馆） |
| TN405/3 |
S627728 |
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总馆—凤阳校区密集书库（新馆）
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可借 |
凤阳校区密集书库（新馆） |
| TN405/3 |
S627729 |
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总馆—凤阳校区密集书库（新馆）
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可借 |
凤阳校区密集书库（新馆） |
| TN405/3 |
S627730 |
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总馆—自然书库（凤阳）
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可借 |
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