- 题名/责任者:
- MEMS和微系统——设计与制造/(美) 徐泰然著 王晓浩 ... [等] 译
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2005
- ISBN及定价:
- 7-111-13226-2/CNY38.00
- 载体形态项:
- 402页:图;24cm
- 个人责任者:
- 著 徐泰然
- 个人次要责任者:
- 译 王晓浩
- 学科主题:
- 微电子技术-应用-机械系统
- 中图法分类号:
- TH-39
- 题名责任附注:
- 题名页题：冯焱颖, 熊继军, 杨兴, 蓝金辉
- 出版发行附注:
- 本书中文简体字翻译版由机械工业出版社和美国麦格劳－希尔教育(亚洲)出版公司合作出版
- 书目附注:
- 有书目 (第394-402页)
- 提要文摘附注:
- 本书提供了对MEMS技术基础的深入观察，涉及MEMS的力学、物理和材料科学基础，讲解了微系统工程的基本原理，列举了MEMS及其在制造、通信、生物工程、运输和其他领域的应用。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 |
| TH-39/30 | S423215 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TH-39/30 | S423216 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TH-39/30 | S423217 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TH-39/30 | S423218 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TH-39/30 | S423219 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 |
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