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首记录 上一条 1 / 12 下一条 尾记录 MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：19

题名/责任者:
真空镀膜/李云奇编著
出版发行项:
北京:化学工业出版社,2012
ISBN及定价:
978-7-122-12780-8/CNY85.00
载体形态项:
310页:图;26cm
丛编项:
真空科学技术丛书
个人责任者:
李云奇 编著
学科主题:
真空技术-镀膜
中图法分类号:
TN305
提要文摘附注:
全书共分为11章, 内容包涵了真空镀膜中物理基础, 各种蒸发源与溅射靶的设计、特点、使用要求, 各种真空镀膜方法以及薄膜的测量与监控等。
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索书号 条码号 年卷期 校区—馆藏地 书刊状态
TN305/4 S2366413   总馆—社科书库（凤阳）     可借
TN305/4 S2366414   总馆—社科书库（凤阳）     可借
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