- 题名/责任者:
- 新型微机电系统与器件/主编马宗敏
- 出版发行项:
- 西安:西安电子科技大学出版社,2022
- ISBN及定价:
- 978-7-5606-6530-6/CNY49.00
- 载体形态项:
- 312页:图;26cm
- 丛编项:
- 高等学校微电子类专业系列教材
- 个人责任者:
- 马宗敏 主编
- 学科主题:
- 微机电系统-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TH-39
- 相关题名附注:
- 英文题名取自封面
- 责任者附注:
- 马宗敏, 中北大学教授, 博士生导师, 中国仪器仪表学会量子传感与精密测量分会常务理事。
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书力图从几类最新的传感器入手介绍新型微机电器件及系统, 全书共分七章, 主要内容包括: 近年来微机电系统的发展, MEMS惯性器件及系统的原理、工艺、最新发展, 回音壁模式微腔器件及系统, 典型水声传感器件及系统, 典型高温压力传感器件及系统, 最新的量子传感器件及系统, 柔性传感器件及系统。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TH-39/185 | S3893162 | 总馆—滁州校区自然书库 | 可借 | 滁州校区自然书库 | |
| TH-39/185 | S3893163 | 总馆—滁州校区自然书库 | 可借 | 滁州校区自然书库 | |
| TH-39/185 | S3893164 | 总馆—滁州校区自然书库 | 可借 | 滁州校区自然书库 | |
| TH-39/185 | S3828684 | 总馆—工业技术书库（龙湖） | 可借 | 工业技术书库（龙湖） | |
| TH-39/185 | S3828685 | 总馆—工业技术书库（龙湖） | 可借 | 工业技术书库（龙湖） | |
| TH-39/185 | S3828686 | 总馆—工业技术书库（龙湖） | 可借 | 工业技术书库（龙湖） |
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