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MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：7

题名/责任者:
微电子工艺基础/李薇薇, 王胜利, 刘玉岭编著
出版发行项:
北京:化学工业出版社,2007
ISBN及定价:
978-7-5025-9520-3/CNY29.80
载体形态项:
257页:图;26cm
个人责任者:
李薇薇 编著
个人责任者:
王胜利 编著
个人责任者:
刘玉岭 编著
学科主题:
微电子技术-生产工艺
中图法分类号:
TN405
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书前部分主要介绍了集成电路制备工艺中有关物理、化学知识, 后面介绍了工艺过程、工艺设备以及IC制备中的新技术、新方法。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 校区—馆藏地 书刊状态
TN405/3 S627727   总馆—自然书库（凤阳）     可借
TN405/3 S627728   总馆—自然书库（凤阳）     可借
TN405/3 S627729   总馆—自然书库（凤阳）     可借
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