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题名/责任者:

微米纳米器件测试技术/张文栋等编著

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2012

ISBN及定价:

978-7-118-07897-8/CNY88.00

载体形态项:

259页:图;24cm

并列正题名:

Micro-nanometer devices measuring technology

丛编项:

微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列

个人责任者:

张文栋 编著

学科主题:

纳米材料-微电子技术-电子器件-测试技术

中图法分类号:

TN4

出版发行附注:

国家科学技术学术著作出版基金资助出版 总装备部国防科技图书出版基金资助

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书主要内容有微纳测试技术概述、微纳几何量测试技术、微纳动态测试技术、微纳力学量测试技术、MEMS在线测试技术、典型微纳器件测试技术等。

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