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- 题名/责任者:
- 微机电系统原理/马晓军、李基邦著
- 出版发行项:
- :国防工业出版社,2014年9月
- ISBN及定价:
- 978-7-118-09432-9 精装/CNY180
- 载体形态项:
- 608页;小16开
- 个人责任者:
- 李基邦 著
- 个人责任者:
- 马晓军 著
- 学科主题:
- 参数电路
- 中图法分类号:
- TN4
- 提要文摘附注:
- 本书通过统一的方法和闭合解析法解决微机电问题中的微机电系统原理。书中首先对宏观和微观世界的基础无量纲参数进行了量纲分析,同时还介绍了微机电系统相关的精密加工技术。此外本书还介绍了静力平衡状态下静力学/力学和力矩对机械结构的影响、静态结构中的机械原理、适用于微机电系统电气性质的电磁学基本方程,以及从制动器到特殊用途的传感器在内的微机电系统构建模块的整合等内容。
- 使用对象附注:
- 高校师生,科研技术人员
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