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题名/责任者:

集成电路先进工艺制造/陆卫，宋艳汝主编

出版发行项:

上海:上海科学技术出版社,2025

ISBN及定价:

978-7-5478-7044-0/CNY178.00

载体形态项:

10,436页:彩图;24cm

个人责任者:

陆卫 主编

个人责任者:

宋艳汝 主编

个人次要责任者:

彭鹏飞 参编

个人次要责任者:

张妍亭 参编

学科主题:

集成电路工艺

中图法分类号:

TN405

责任者附注:

本书参编：彭鹏飞，张妍亭，刘娟娟，杨津津，翁思远等

责任者附注:

陆卫，上海科技大学教授，上海科技大学物质科学与技术学院执行院长、中国空间科学学会副理事长。宋艳汝，上海科技大学材料器件中心助理主任、技术负责人、副研究员。从事超导光电探测器及超导工艺技术研发。

提要文摘附注:

本书从集成电路制造的工艺、设备、厂务3个关键内容出发，融合了集成电路制造的理论基础和前沿实践技术，深入浅出地探讨了集成电路制造的全过程。通过大量工艺设备的使用案例分析、实验数据、设备操作标准程序和教学实践视频，帮助读者掌握实际操作。此外，在介绍当前主流制造技术的同时，还深入讲解了产业界量产设备的基本原理、动力需求和应用实践。

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