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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:12

题名/责任者:
微光机电系统 (MOEMS)/张文栋, 熊继军编著
出版发行项:
北京:机械工业出版社,2006
ISBN及定价:
7-111-19266-4/CNY28.00
载体形态项:
310页:图;24cm
丛编项:
光机电一体化技术丛书
个人责任者:
张文栋 编著
个人责任者:
熊继军 编著
学科主题:
微光技术-应用-机电系统
中图法分类号:
TH-39
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况,微器件的结构设计与仿真,常用的微制造技术等。
使用对象附注:
从事MOEMS技术应用的开发和工程设计人员、科技管理人员及相关专业研究生。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 校区—馆藏地 书刊状态
TH-39/48 S568907   总馆—自然书库(凤阳)     可借
TH-39/48 S568908   总馆—自然书库(凤阳)     可借
TH-39/48 S568909   总馆—自然书库(凤阳)     可借
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