MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：2
- 题名/责任者:
- 集成电路工艺实验/谭永胜，方泽波主编
- 出版发行项:
- 成都:电子科技大学出版社,2025
- ISBN及定价:
- 978-7-5770-1376-3/CNY42.00
- 载体形态项:
- 99页:图;24cm
- 个人责任者:
- 谭永胜 主编
- 个人责任者:
- 方泽波 主编
- 学科主题:
- 集成电路工艺-实验
- 中图法分类号:
- TN405
- 提要文摘附注:
- 本书按一个完整的半导体集成电路工艺过程工艺作用来讲述，将各种集成电路单项工艺分为清洗、薄膜沉积、掺杂和图形转移等几类。各部分内容是以提取重要的、有重复性和代表性的工序排成的实验项目。学生真正掌握了这些实验的方法，熟悉各大型设备的实际操作，即可在工艺线上单独流片，制造出合格的、结构较简单的集成电路芯片。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN405/34 | S4018237 | 总馆—滁州校区自然书库 | 新书：正在上架 | 滁州校区自然书库 | |
| TN405/34 | S4018238 | 总馆—滁州校区自然书库 | 新书：正在上架 | 滁州校区自然书库 | |
| TN405/34 | S4018239 | 总馆—滁州校区自然书库 | 新书：正在上架 | 滁州校区自然书库 |
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