MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：12
- 题名/责任者:
- 微系统光学检测技术/(德)伏尔夫岗·奥斯腾主编 王伯雄等译
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2014.08
- ISBN及定价:
- 978-7-111-45837-1/CNY95.00
- 载体形态项:
- 16,442页:图;24cm
- 丛编项:
- 国际制造业先进技术译丛
- 个人责任者:
- (德) 奥斯腾 (Osten, Wolfgang) 主编
- 个人次要责任者:
- 王伯雄 译
- 学科主题:
- 微电子技术-光学测量
- 学科主题:
- 微电子技术
- 学科主题:
- 光学测量
- 中图法分类号:
- TB96
- 相关题名附注:
- 封面英文题名：Optical inspection of microsystems
- 提要文摘附注:
- 本书包括光散射法、扫描探针显微技术、共焦显微技术、条纹投影技术、栅格和莫尔技术、干涉显微技术、激光多普勒测振技术等。
- 使用对象附注:
- 从事微纳制造、微系统检测的科技人员
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 |
| TB96/2 | S2411305 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TB96/2 | S2411306 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TB96/2 | S2411307 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TB96/2 | S3155581 | - | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 |
| TB96/2 | S3155582 | - | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 |
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