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题名/责任者:

纳米加工技术与原理/(加拿大) Maria Stepanova, Steven Dew编 段辉高 ... [等] 译

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2021.07

ISBN及定价:

978-7-118-12322-7 精装/CNY119.00

载体形态项:

XII, 318页, 10页图版:图;24cm

统一题名:

Nanofabrication : techniques and principles

个人责任者:

斯捷潘诺娃 (Stepanova, Maria) 编

个人责任者:

德夫 (Dew, Steven) 编

个人次要责任者:

段辉高 译

学科主题:

纳米材料-加工

中图法分类号:

TB383

一般附注:

装备科技译著出版基金

题名责任附注:

Stepanova规范汉译姓: 斯捷潘诺娃 Dew规范汉译姓: 德夫

出版发行附注:

由Springer授权出版

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书内容包括: 纳米加工研究方向简介、电子束曝光与显影的基本原理、电子束曝光与抗蚀剂工艺的模拟仿真、氦离子光刻的原理及性能等。

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