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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:20

题名/责任者:
折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用/张新宇, 谢长生著
出版发行项:
北京:国防工业出版社,2021.10
ISBN及定价:
978-7-118-12284-8 精装/CNY169.00
载体形态项:
211页:图;24cm
丛编项:
现代微纳光学光电成像探测技术丛书
个人责任者:
张新宇
个人责任者:
谢长生
学科主题:
刻蚀-研究
中图法分类号:
TN405
书目附注:
有书目 (第209-211页)
提要文摘附注:
本书主要内容包括: 折射和衍射微光学变换, 准连续相位分布的衍射微光学结构, 适用于毫米级近场的衍射微光学结构, 可见光、红外线以及多谱光学强度图像, 复杂波前基础理论 ; 衍射微光学结构的设计与仿真, 单步光刻和两步法KOH湿法蚀刻, 微光学图像, 波前结构的设计与工艺、测试与评估等 ; 宽频激光对抗条件下的非相干成像探测, 强度图像与复杂波前出射的基本方法 ; 激光图像发射、静态或动态图像与波前仿真环境构建, 图像隐身、基于频谱空间分离的成像探测对抗等。
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索书号 条码号 年卷期 校区—馆藏地 书刊状态 还书位置
TN405/25 S3434124   总馆—工业技术书库(龙湖)     可借 工业技术书库(龙湖)
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