MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：8
- 题名/责任者:
- 半导体集成电路制造技术/张亚非等编著
- 出版发行项:
- 北京:高等教育出版社,2006
- ISBN及定价:
- 7-04-018299-8/CNY48.00
- 载体形态项:
- 390页;24cm
- 丛编项:
- 长江学者论丛
- 个人责任者:
- 张亚非 (电子学) 编著
- 学科主题:
- 半导体集成电路-集成电路工艺
- 学科主题:
- 半导体集成电路
- 学科主题:
- 集成电路工艺
- 中图法分类号:
- TN430.5
- 一般附注:
- “长江学者”学术著作出版资助项目
- 提要文摘附注:
- 本书根据半导体集成电路的基本原理和内部结构以及版图设计，通过半导体材料制备、化学清洗、薄膜沉积、NP掺杂、光刻、金属化处理、生产整合与自动化等工艺整合，讲解集成电路的制造技术。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 |
| TN430.5/3 | S573451 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TN430.5/3 | S573452 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TN430.5/3 | S573453 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 |
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