MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:7
- 题名/责任者:
- MEMS材料与工艺手册/(美)利萨·格迪斯(Reza Ghodssi),(美)林斌彦(Pinyen Lin)著 黄庆安译
- 出版发行项:
- 南京:东南大学出版社,2014.03
- ISBN及定价:
- 978-7-5641-4053-3/CNY198.00
- 载体形态项:
- 11,14,966页:图;24cm
- 丛编项:
- 微纳系统系列译丛
- 个人责任者:
- (美) 利萨·格迪斯 (Ghodssi, Reza) 著
- 个人责任者:
- (美) 林斌彦 (Lin, Pinyen) 著
- 个人次要责任者:
- 黄庆安 译
- 学科主题:
- 微电子技术-电子材料-手册
- 学科主题:
- 微电子技术-生产工艺-手册
- 学科主题:
- 微电子技术
- 学科主题:
- 电子材料
- 学科主题:
- 生产工艺
- 中图法分类号:
- TN4-62
- 提要文摘附注:
- 本书主要内容包括:MEMS中半导体材料、介质材料、金属材料、聚合物材料、压电材料、形状记忆合金材料以及封装材料等制备方法及其特性等。
- 使用对象附注:
- 本书适合相关专业高年级本科生、研究生及工程科研技术人员阅读和参考
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 |
TN4-62/18 | S2093024 | 总馆—自然书库(凤阳) | 可借 | |
TN4-62/18 | S2414824 | 总馆—自然书库(凤阳) | 可借 | |
TN4-62/18 | S2414825 | 总馆—自然书库(凤阳) | 可借 | |
TN4-62/18 | S2414826 | 总馆—自然书库(凤阳) | 可借 |
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