MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：11
- 题名/责任者:
- 微加工导论/(芬)Sami Franssila著 陈迪等译
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2006
- ISBN及定价:
- 7-121-01981-7/CNY65.00
- 载体形态项:
- 20,444页:图;26cm
- 个人责任者:
- (芬) 弗兰西拉 (Franssila, Sami) 著
- 个人次要责任者:
- 陈迪 (微加工) 译
- 学科主题:
- 特种加工-教材
- 学科主题:
- 特种加工
- 中图法分类号:
- TG66
- 一般附注:
- 国外电子与通信教材系列
- 版本附注:
- Wiley Publishing, Inc授权出版
- 提要文摘附注:
- 本书介绍了微加工的材料、基本工艺、结构、工艺集成、设备和制造等各个方面。书中还介绍了微加工技术涉及的净化室、成品率、晶圆厂、摩尔定律等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 |
| TG66/6 | S557474 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TG66/6 | S557475 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TG66/6 | S557476 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TG66/6 | S557477 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TG66/6 | S557478 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 |
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