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题名/责任者:

微光学和纳米光学制造技术/(美) Shanalyn A. Kemme编著 周海宪, 程云芳译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2012.9

ISBN及定价:

978-7-111-39448-8/CNY66.00

载体形态项:

xii, 196页:图;24cm

统一题名:

Microoptics and nanooptics fabrication

丛编项:

国际信息工程先进技术译丛

个人责任者:

凯米 (Kemme, Shanalyn A.) 编著

个人次要责任者:

程云芳 译

个人次要责任者:

周海宪 译

学科主题:

纳米材料-应用-光学元件-制造

学科主题:

微光技术

中图法分类号:

TH74-39

中图法分类号:

TN223

出版发行附注:

本书中文简体翻译版授权由机械工业出版社独家出版

相关题名附注:

英文题名原文取自版权页

责任者附注:

责任者规范汉译姓: 凯米

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书详细介绍了微光学和纳米光学元件成功的、最新的制造工艺, 重点强调了关键性的专业技巧, 提供了最新的技术信息, 内容包括面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术、纳米压印光刻技术和器件应用、平面光子晶体的设计和制造、三维 (3D) 光子晶体的制造--钨成型法。本书参编作者都是微纳米光学制造技术领域的专家, 代表了当今微光学加工的领先水平。

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