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首记录 上一条 1 / 3 下一条 尾记录 MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：13

题名/责任者:
纳米集成电路制造工艺/张汝京等编著
出版发行项:
北京:清华大学出版社,2014.07
ISBN及定价:
978-7-302-36027-8/CNY69.00
载体形态项:
13,433页:图;26cm
并列正题名:
Nanoscale integrated circuits——the manufacturing process
个人责任者:
张汝京 编著
学科主题:
纳米材料-集成电路工艺
学科主题:
纳米材料
学科主题:
集成电路工艺
中图法分类号:
TN405
提要文摘附注:
本书介绍纳米集成电路的制造工艺，共分19章。内容涉及集成电路制造工艺的方方面面，很多内容是作者在工作过程中积累整理的。对于相关领域的从业人员，有一定的参考价值。
使用对象附注:
相关领域的从业人员
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索书号 条码号 年卷期 校区—馆藏地 书刊状态
TN405/11 S2411832   总馆—自然书库（凤阳）     可借
TN405/11 S2411833   总馆—自然书库（凤阳）     可借
TN405/11 S2411834   总馆—自然书库（凤阳）     可借
TN405/11 S2431649   总馆—自然书库（凤阳）     可借
TN405/11 S2431650   总馆—自然书库（凤阳）     可借
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