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- 题名/责任者:
- 半导体薄膜技术与物理/叶志镇 ... [等] 编著
- 版本说明:
- 2版
- 出版发行项:
- 杭州:浙江大学出版社,2014
- ISBN及定价:
- 978-7-308-13910-6/CNY36.00
- 载体形态项:
- 237页:图;26cm
- 丛编项:
- 高等院校材料专业系列规划教材
- 个人责任者:
- 叶志镇, 1955- 编著
- 个人责任者:
- 吕建国 编著
- 个人责任者:
- 吕斌 编著
- 学科主题:
- 半导体薄膜技术-高等学校-教材
- 学科主题:
- 半导体薄膜技术
- 中图法分类号:
- TN304.055
- 一般附注:
- “十二五”普通高等教育本科国家级规划教材
- 题名责任附注:
- 题名页题: 叶志镇, 吕建国, 吕斌, 张银珠编著
- 责任者附注:
- 叶志镇, 男, 1955年5月生于浙江温州。1987年获浙江大学光仪系工学博士学位。现为浙江大学材料与化学工程学院副院长、浙江大学纳米中心主任。
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书全面系统地介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础。全书共分十章。第一章概述了真空技术, 第二至第八章分别介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相外延、湿化学合成等各种半导体薄膜的沉积技术, 第九章介绍了半导体超晶格、量子阱的基本概念和理论, 第十章介绍了典型薄膜半导体器件的制备技术。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 |
| TN304.055/1 | S2436156 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TN304.055/1 | S2436157 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 | |
| TN304.055/1 | S2436158 | 总馆—自然书库（凤阳） | 可借 |
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